报告时间：2025年11月26日上午10:00

报告地点：物质科研楼A309会议室  Room A309 Material Science Building

报告人： 邓辉  副教授  南方科技大学

报告题目/Title: 等离子体原子级制造的原理及应用

摘要/Abstract:

将加工精度逼近原子量级一直以来都是精密加工领域学者的终极追求，然而，传统的基于刀具和磨粒的超精密加工技术难以实现原子尺度的工具与工件的精确作用，实现原子级精度存在挑战。本报告将介绍基于大气等离子体物理与化学作用的原子级制造技术，包括等离子体原子层抛光技术、原子选择刻蚀技术、原子迁移技术以及表面原子重构技术。上述技术还处于基础研究阶段，本报告将对上述技术的基本原理、初步进展以及所面临的挑战进行汇报。

报告人简介/Curriculum Vitae:

邓辉，南方科技大学长聘副教授，独立PI，博士生导师。本科毕业于华中科技大学，在日本大阪大学获得博士学位。担任华为-南方科技大学超精密制造与测量创新实验室主任、深圳市半导体专用设备工程研究中心主任。长期从事基于等离子体的原子级制造技术研究，主要学术成果包括：首次发现大气等离子体化学模式下的原子选择刻蚀效应，属于原子级表面制造的新原理；首次发现了等离子体物理模式下的原子重构效应，为亚表面的损伤修复提供了一种新思路；将人工智能与等离子体加工相融合，极大拓展了等离子体原子级制造的应用范畴。