周成刚 高级工程师
发布人:中科院微观磁共振重点实验室  发布时间:2020-05-20   动态浏览次数:1189

姓名:

周成刚 高级工程师

工作单位:

合肥微尺度物质科学国家研究中心

中国科学技术大学微纳研究与制造中心

中国科学院微观磁共振重点实验室

电话:

0551-63607217

E-mail:

cgzhou(AT)ustc.edu.cn

 

周成刚,男,19788月生于安徽,中国科学技术大学高级工程师,主要从事微纳米加工检测技术及其学科交叉应用等方向的研究。20026月获中国科学技术大学学士学位,20076月获中国科学技术大学工学博士学位。20077-20107月在上海科学院集成电路制造装备研究中心,历任系统工程师、主任助理和常务副主任,主持开展国内首台400nm无掩模光学光刻机的研制工作;20108月起就职于中国科学技术大学微纳研究与制造中心,担任副主任全面负责微纳研究与制造中心的洁净室及仪器建设、运行服务、人才培养、队伍建设、科研支撑等工作。


  • 学历:

19979月-20026月,中国科技大学精密机械与精密仪器系,工学学士。

20029月-20076月,中国科技大学精密机械与精密仪器系,工学博士。


  • 主要工作经历:

20077月-20107,上海科学院集成电路制造装备研究中心,系统工程师、主任助理、常务副主任。

20108至今,中国科学技术大学微纳研究与制造中心,高级工程师、副主任。

 

  • 代表性研究论文 :

  1. Cheng Mosong and Zhou Chenggang, Optimizing photon sieves to approach Fresnel diffraction limit via pixel based inverse lithography Journal of Vacuum Science & Technology B 294041002 2011.07

  2. Zhou ChenggangWangYingnanChen YuhangHuang WenhaoAlignment measurement of two-dimensional zero-reference marks, Precision Engineering, 2006, 30: 238-241